光伏離子注入設(shè)備模型
光伏離子注入設(shè)備模型
光伏離子注入設(shè)備模型維持皮帶水平傳送硅片和固態(tài)磷離子源改進(jìn)的大束流離子源,束流提升40%增加圖案化注入摻雜功能產(chǎn)能3000WPH。
光伏離子注入設(shè)備模型
光伏離子注入設(shè)備模型
光伏離子注入設(shè)備模型維持皮帶水平傳送硅片和固態(tài)磷離子源改進(jìn)的大束流離子源,束流提升40%增加圖案化注入摻雜功能產(chǎn)能3000WPH。
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